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立式炉Mini STK

立式炉Mini STK应用于立式炉管设备前端，适用于FOUP的转运 、暂存和开盒。

advantages

产品优势
  • 一体成型设计
    整机一体成型设计
  • 自主研发
    自主研发FTR机械手，适配多类型300mm FOUP
  • 搭载双口开盒器
    后端搭载双口开盒器（FIMS），实现Front N2 purge
  • 可选配
    可选配Shelf N2 purge

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 外形尺寸

    1745×1100×3500（mm）

  • 工位数

    18

  • 负载

    ≤10kg

  • 重复位置精度

    ±0.1mm

  • 振动

    ≤0.3g

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