大气机械手Blade D系列

大气机械手是用于半导体制造中晶圆传输的关键设备，新松大气机械手具有高洁净等级、高速传片及具有碰撞保护功能，拥有完全自主知识产权，可以迎合个性化设计末端执行器及定制接口。手臂采用先进的结构加强了手臂的刚性，并有效抑制振动，轻量化设计满足高速要求，是半导体行业的优势之选。

产品优势

质量可靠

高品质零部件，精密装配，严格检验，高寿命

个性化设计

用户可定制手指及接口

符合SEMI标准

Blade系列大气机械手已通过SEMI认证

全自研解决方案

核心部件自主研发

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

机械手重复精度

≤ ±0.1mm

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