SMIF 晶圆装载装置

SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置，适用于150mm和200mm晶圆盒的自动开关盒，效率高，稳定性好，重复定位精度高，洁净等级为Class1；具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能，能自动检测盒内各槽晶圆状态，例如单片、跨片；具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能，可以有效保护机械手以及人身安全；具有RFID读取功能。