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产业介绍 |
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洁净自动化技术及装备是新松公司的新兴产业之一。公司的洁净自动化产品主要有洁净机器人、真空机械手、自动对准装置、自动提升装置和SMIF（FOUP）接口设备以及洁净镀膜机械手、洁净搬运机械手、洁净AGV、RGVS和洁净物流自动输送设备等。主要应用领域为IC装备、平板显示（FPD）、电子、生物制药和食品等行业，完全具备为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程的能力。新松公司开发出国内首台洁净机械手和真空机械手产品，全部拥有自主知识产权和核心技术，其技术水平国内领先，达到国际先进水平。并以研制IC装备机器人为突破口，逐步进入洁净自动化行业，公司开发的用于电子和FPD行业的洁净环境镀膜机器人生产线和超薄玻璃机器人装箱生产线已投入实际生产运行。
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