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Mask Stocker

关键字导读: Mask,Mask case STK

描述:Mask case STK,高洁净度,非接触供电,SEMI软件接口,动态纠偏和碰撞保护功能,高可靠性,设备可定制

简介

Introduction

用于FPD行业Mask case自动化搬送、存储,与曝光机对接。优化结构及气流流场设计,可使洁净度达到ISO Class4等级要求;带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能,有效保护Cassette、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失;高刚度、高可靠性设计,全方位保护贵重Mask;标准的SEMI软件接口,可以方便对接面板厂MCS系统,可实时上报系统各种状态数据,实现工厂智能管理;可以根据客户应用的特殊要求,定制设备功能及尺寸。 

参数

Parameter

参数:

设备

Stocker Crane

运动轴

行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

有效负载

最大240kg

控制

PLC

电源供应

HID (CPS)+ECO

电机

伺服电机

行走

速度

66m/min

提升

速度

最大40m/min

旋转

速度

180°/6s

叉取

/下料时间

11s

叉取卡夹精度

±2mm