首页> 产品中心 > 洁净机器人 > 真空机械手SRBZ820C-SMSX/G
真空机械手SRBZ820C-SMSX/G

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特征,耐高温、耐腐蚀,动态纠偏和碰撞保护功能。

简介

Introduction

采用耐高温手指有隔热设计,可用于放置高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度,加大热阻。具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆,减少用户误操作导致的各种损失。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能.带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,耐高温耐腐蚀特性等。

参数

Parameter

参数:

型号

SRBZ820C-SMSC/G

密封方式

磁流体密封

自由度数

2

负载

名称

托盘

直径

Φ330mm

重量

1.5kg

最大运动范围

R轴(mm

立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

θ轴(°)

360

全行程最小时间

R轴(s

2.5

θ轴(s

4.8

重复定位精度

θ轴(°)

±0.013σ)

R轴(mm

±0.13σ)

重量

机械手本体

41kg

控制器

15kg

耐真空度 (Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保护

盘片和机械手无损伤

隔热设计

指部隔热块

承载温度

工艺环境300

行程

820mm

电源范围   电压波动范围

单相交流208V     +10%-15%