EFEM 设备前端模块

EFEM是半导体工艺设备的标准组件，是物料搬运系统和各类制程设备高效衔接的重要桥梁。新松EFEM拥有完全自主知识产权，集成公司自主研发的晶圆装载系统、大气机械手及晶圆对准装置，可为客户提供种类丰富的定制化EFEM产品。新松EFEM采用成熟的标准化、模块化组件设计，产品质量稳定可靠，不断缩短交货周期，广泛应用于多个知名半导体制造工厂。