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SMIF

SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置,适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒,效率高,稳定性好,重复定位精度高,洁净等级为Class1;具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能,能自动检测盒内各槽晶圆状态,例如单片、跨片;具有开盒时自动识别盒内晶圆尺寸的功能,更加便于使用;具有灵敏的晶圆滑出保护功能,可以自动监测盒内异常状况,有效保护晶圆;具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能,可以有效保护机械手以及人身安全;具有RFID读取功能。新松SMIF为全流程中国大陆自主设计制造,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内半导体设备的发展。

advantages

产品优势
  • 优势明显
    速度快、稳定性好
  • 可挂载
    可挂载到Semi标准EFFM机械接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圆和的开启和关闭
  • 自动识别
    自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
  • 内置多传感器
    内置晶圆滑出和卡塞错位传感器

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 动作对象

    200mm Carrier

  • 移载重量

    0.8kg (需要进行5kg配重提升三次测试)

  • 重复位置精度

    ±0.1mm

  • 片盒检查

    RFID读取、微型光电传感器、对射式光电传感器

  • 材质

    耐酸铝+不锈钢

  • 外形尺寸

    815H*365W*425D(mm)

  • 本体重量

    65kg

  • 工作台

    带有片盒载荷传感器

  • 可靠性

    MTBF:17000h

  • 开盒时间

    12.5s

  • 关盒时间

    14s

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